会议室里的气氛变得沉重,大佬们纷纷叹息着,一个个说着难处。世纪初中国研究光刻机的难处具体有哪些,他们心中都有一本账。徐端颐首先开口,他的声音中透露出一丝无奈:“首先,高精度的光学系统我们国内几乎是空白,从头发展,三五年内都别想有所成果,依赖进口是唯一的选择。但一旦我们的光刻机成型,别人很可能不会卖给你的。”黄令仪接着补充道:“其次,光刻机中的精密机械部件,我们国内的加工精度和质量控制达不到要求。即便是有了设计图纸,没有相应的制造工艺,也是巧妇难为无米之炊。”王守武也摇了摇头:“再有,就是人才问题。光刻机的研发需要跨学科的高端人才,而这方面的人才储备,我们远远不足。即便是有心培养,也不是一朝一夕能够见效的。”严晓浪则是一脸严肃:“还有,就是研发资金的问题。光刻机的研发周期长,投入巨大,而且风险极高。没有持续稳定的资金支持,研发工作很难持续进行。”黎光楠叹了口气:“最关键的是,我们缺乏经验积累。光刻机的研发涉及到众多的技术和工艺,这些都是需要通过长期的实践和探索才能积累起来的。”在座的每一位大佬都清楚,这些难处,每一个都足够让一个国家的研发项目停滞不前,更何况是当时的华国,几乎是从零开始。研发光刻机的难度,远远超出了他们的预期,在卿云之前的‘商业思维’模式科普下,他们很清楚这不仅是技术上的挑战,更是整個产业链的挑战。而此时,卿云却在台上拍了拍手掌,试图提振一下气氛:“诸位前辈,我理解大家的顾虑,但请相信,我既然敢提出这个计划,自然有我的准备。”他环视了一圈,继续说道:“我准备分成两步走。第一步,由徐老爷子带人……老爷子,不要去管核心零部件国产率是多少的问题,你先给我造出来,在国际上先声夺人。随后,阿美莉卡封锁我们是必然的。但它要封锁就封锁他们的,核心零部件我会先一步的囤货……这些商业化运作你们不要管了,你们只管造出来,剩下的事情,全部交给我。”黎光楠皱了皱眉,提出了一个关键问题:“小卿,知识产权怎么办我们不能不考虑这个问题。”卿云笑了笑,他的回答中带着一丝狡黠,“当年钱老爷爷也没管什么知识产权不产权的,造出来才是硬道理。如果……”他看向了那边皱着眉头沉思的徐端颐,“如果徐老爷子能够快速的把浸没式光刻机造出来,将来这官司有的打。”尽管鹰子有‘你们使用了我们未来拥有的技术’这种拳法,但造出来后你管我怎么玩!你封锁你的,我卖我的产品就是了。说罢,望着一脸决绝的徐老爷子,云帝赶紧补了一句,“老爷子,我知道您急,但您先别急。晚点出来也无所谓的。让樱花的干式光刻机先出来,也不是不可以的。”“伱……”徐端颐刚想喷他一句‘落后谁也不能落后樱花’的,突然自己反应了过来。人老成精,能平安跑完上世纪那几次运动会并且在现在担任要职的科学家,都是通晓世事的老运动员了,这里面的弯弯绕绕,他们立刻就琢磨了出来。而后,一众大佬的眉头开始跳着舞,大王先生更是抚掌笑道,“晚点好!晚点好啊!”黎光楠神色古怪的望着台前这个自己的便宜徒弟,心里琢磨着,要不是这小子本职是个企业家,他都想干脆正儿八经收成关门弟子算了。做科研,天赋之外,还得有眼光或者说是运气,否则走错了路,一辈子也就蹉跎了。而这小子,无疑眼光或者是运气,都是逆天的。接着,卿云的语气变得严肃,“不过,徐老爷子,还是要快,留给我们的时间并不多。”徐端颐闻言,眼中闪过一丝坚定的光芒,“小卿,你放心,我这条命豁出去了。”卿云点了点头,然后继续说道:“第二步,各大科研机构挑大梁,对各个子系统进行攻关,力争在5年内实现国产化率超过50%的目标。再多的,无非是时间问题。钱,你们不用考虑。至于基础材料什么的,我会启动另外一个计划来解决,绝对不会短科研一个材料。”他的话语中透露出强大的自信和决心,让在座的各位大佬都感到了一种前所未有的振奋。那边的黄令仪此时却给他破了一盆冷水,“小卿,不要盲目乐观。并不是有光刻机就‘大功告成’,可以开始‘印芯片’了。光刻机更像是中间执行的环节,而在执行前后,还需要很多同样重要的工作,比如说计算光刻和量测。”术业有专攻,她担心其他做元件和器件的同行不懂,进一步开口解释着,“计算光刻指的是利用各种物理,化学和数学模型去计算模拟真实光刻发生的过程和结果。通过修改各种参数,寻找最优的参数组合来修正掩膜板的图形和光源形状,来提升光刻的质量。这种模拟仿真的思路类似造飞机的时候需要经过很多次的风洞实验,都通过之后才能进行真正的试飞,否则既危险又成本高昂。计算光刻已经成为现代光刻技术研发的核心和最重要的环节之一。”那边的徐端颐也补充着,“量测,就是进行芯片的缺陷检测,判断芯片是否合格。一个晶圆的制作可能包含近百次的曝光,由于每次曝光的间隔都需要对晶圆进行移动调整,为了保证移动的稳定和精准,避免出现小至几纳米的误差导致芯片报废,就需要不断的对晶圆在纳米尺度做量测,并且实现校正和结果的反馈,从而不断的提升良